China · Heading· 5 subheadings· 52 codes

8486Machines and apparatus of a kind used solely or principally for the manufacture of semiconductor boules or wafers, semiconductor devices, electronic integrated circuits or flat panel displays; machines and apparatus specified in note 11(c) to this chapter; parts and accessories

Subheadings (6-digit WCO)

China tariff lines (10-digit)

All national sub-divisions in China's tariff schedule

HS CodeDescriptionPrimary rate
8486101000利用温度变化处理单晶硅的机器及装置0%
8486102000制造单晶柱或晶圆用的研磨设备0%
8486103000制造单晶柱或晶圆用的切割设备0%
8486104000制造单晶柱或晶圆用的化学机械抛光设备0%
8486109000其他制造单晶柱或晶圆用的机器及装置0%
8486201000氧化、扩散、退火及其他热处理设备0%
8486202100制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置0%
8486202200制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置0%
8486202900其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备0%
8486203100制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机0%
8486203110制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机0%
8486203120制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机0%
8486203130制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机0%
8486203190其他制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机0%
8486203900其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置0%
8486203910制造半导体器件或集成电路用的 I 线光刻机0%
8486203920制造半导体器件或集成电路用的氟化氪( KrF )光刻机0%
8486203930制造半导体器件或集成电路用的氟化氩( ArF )光刻机0%
8486203940制造半导体器件或集成电路用的氟化氩浸没式( ArFi )光刻机0%
8486203950制造半导体器件或集成电路用的极紫外( EUV )光刻机0%
8486203990未列名制造半导体器件或集成电路用的光刻机0%
8486204100制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机0%
8486204900其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备0%
8486205000制造半导体器件或集成电路用离子注入机0%
8486209000其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置0%
8486301000制造平板显示器用扩散、氧化、退火及其他热处理设备0%
8486302100制造平板显示器用化学气相沉积装置0%
8486302200制造平板显示器用物理气相沉积装置0%
8486302900其他制造平板显示器用薄膜沉积设备0%
8486303100制造平板显示器用分步重复光刻机0%
8486303900其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置0%
8486304100制造平板显示器用超声波清洗装置0%
8486304900其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置0%
8486309000其他制造平板显示器用的机器及装置0%
8486401000主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置0%
8486402100塑封机0%
8486402200引线键合装置0%
8486402201全自动铝丝焊接机0%
8486402220全自动铜丝焊接机0%
8486402230全自动金丝焊接机0%
8486402290其他引线键合装置0%
8486402900其他主要或专用于装配封装半导体器件和集成电路的设备0%
8486403100IC工厂专用的自动搬运机器人0%
8486403900其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备0%
8486901000升降、搬运、装卸机器用零件或附件0%
8486902000引线键合装置用零件或附件0%
8486909100带背板的溅射靶材组件0%
8486909110两用物项管制的带背板的溅射靶材组件0%
8486909190其他的带背板的溅射靶材组件0%
8486909900其他品目8486项下商品用零件和附件0%
8486909910制造半导体器件或集成电路用光刻设备用零件及附件0%
8486909990其他品目84.86所列设备用零件及附件0%
China HS 8486 · Machines and apparatus of a kind used solely or principally · Treayo